▹ 미소 기계 전기 시스템의 자세한 의미
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미소 기계 전기 시스템 微少機械電氣system :
극미세 기계 부품 및 장치와 집적 회로를 공통의 실리콘 기판 위에 결합하여 일체화한 시스템.
어휘
혼종어
전기·전자
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다른 언어 표현:
영어
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